폐타이어 자원재생
마이크로웨이브 열분해와 플라즈마 개질을 결합해 폐타이어의 탄소·수소 자원을 회수합니다. 수소와 회수 카본블랙을 우선 검증하고, 첨단 탄소소재로 적용 가능성을 확장합니다.
수소 회수회수 카본블랙모듈 병렬화
ENGINEERING A CIRCULAR FUTURE
버려지는 자원에,
새로운 가능성을.
MICROWAVE PLASMA TECHNOLOGY
폐자원에서 수소로.
산업의 배출에서 변화로.
공정 자료에 수록된 마이크로웨이브 플라즈마 리포머
01 RESOURCE RECOVERY02 GAS TREATMENT03 SMART ENERGYPETRA CLIMATE TECHNOLOGY
ABOUT PETRA
기술을 기반으로,
순환의 다음을 만듭니다.
페트라기후기술(주)는 마이크로웨이브 플라즈마 기반의 자원재생과 산업 배기가스 처리 솔루션을 추진하는 기후기술 기업입니다.
폐타이어를 수소와 회수 탄소소재로 전환하는 모듈형 공정, 제조 현장의 배기가스를 처리하는 전기 기반 시스템을 중심으로 사업을 전개합니다. 설비와 운영 데이터를 함께 살피며 현장에 맞는 기술 적용을 지향합니다.
Circular자원의 가치 회수
Electric공정 열원의 전기화
Modular단계적 확장 설계
OUR SOLUTIONS
두 개의 사업축,
하나의 지속가능한 방향.
자원재생에서 산업 환경설비까지.
플라즈마 기술의 적용 범위를 넓혀갑니다.
마이크로웨이브 플라즈마 스크러버
전기 기반 MW 플라즈마와 스팀 반응, 열회수 및 후단 처리를 연결하는 시스템입니다. 반도체·디스플레이 및 산업 배기 분야를 대상으로 공정에 맞는 처리 구성을 검토합니다.
THC·VOCs 처리가스별 적용 설계스마트 출력 제어
장비 디자인 콘셉트
스크러버 상세 보기 ↗MICROWAVE PLASMA SCRUBBER
페트라의 특화 기술,
마이크로웨이브 플라즈마
스크러버.
스크러버는 제조공정에서 배출되는 가스의 유해 성분을 처리하는 환경설비입니다. 페트라의 스크러버는 회사의 특화 기술인 마이크로웨이브 플라즈마(Microwave Plasma)를 적용한 배기가스 처리 시스템입니다. 무전극 에너지 전달을 중심으로 반응기, 스팀 공급, 열회수, 후단 처리와 운전 제어를 통합하는 방향으로 설계합니다.
반도체·디스플레이THC·VOCs 배기불소계 공정가스 적용 검토기존 설비 개선
PETRA SPECIALIZED TECHNOLOGY핵심은,
핵심은,
마이크로웨이브 플라즈마.
마이크로웨이브 에너지를 플라즈마 반응 영역에 전달해 공정 배기가스의 분해를 유도합니다. 토치의 에너지 전달부터 가스별 반응 조건과 후처리까지 하나의 시스템으로 연결합니다.
- 01무전극 마이크로웨이브 에너지 전달
- 02스팀 반응·가스 혼합·체류시간 설계
- 03열회수·후단 처리·출력 제어 연계
FAB INTEGRATION / APPLICATION CONCEPT
반도체 공정 가까이,
MW 플라즈마 처리 시스템을 연결합니다.
클린룸의 공정장비와 하부 진공·유틸리티 설비를 연결하고, 배기가스 흐름에 맞춰 페트라 MW 플라즈마 스크러버의 적용 위치를 구성합니다.
01 / CLEANROOM웨이퍼 공정장비 · 배기가스 발생원
02 / SUB-FAB진공펌프 · 온도 제어 및 보조 설비
03 / GAS TREATMENT페트라 MW 플라즈마 스크러버 · 후단 처리
공정장비Etch · CVD 등
공정 배기가스 발생
→
공정 배기가스 발생
진공펌프공정 진공 유지
배기가스 이송
→
배기가스 이송
PETRA MW 스크러버마이크로웨이브 플라즈마가스 분해·반응 제어
후단 처리·배기가스별 습식·포집 구성
처리 상태 계측
처리 상태 계측
THERMAL MANAGEMENT
칠러 · 냉각 계통
공정장비의 온도 제어와 스크러버의 냉각 요구를 구분하고, 각 설비 사양에 맞춰 유틸리티를 연계합니다. 냉각 상태는 안전 운전과 인터록 설계에 반영합니다.
POINT-OF-USE INTEGRATION
발생원과 연결되는 배기가스 처리
진공펌프 이후의 가스 흐름, 배기 압력과 설치 공간에 맞춰 MW 플라즈마 처리 계통을 구성합니다. 후단 세정·포집과 중앙 배기 연계는 가스 특성에 따라 설계합니다.
연결도는 처리 흐름을 설명하는 개념 구성입니다. 설치 위치, 배관과 후단 설비는 개별 프로젝트에 따라 달라집니다.
01 / HOW IT WORKS
분해하고, 포집하고, 확인하는 처리 흐름.
유입·조건 조정
가스의 조성·유량·농도와 압력을 확인하고, 대상 가스에 맞게 스팀 등 반응 보조 유체의 공급 조건을 설정합니다.
MW 플라즈마 분해
발생기에서 만든 마이크로웨이브를 도파관을 통해 전달합니다. 플라즈마 반응 영역에서 유기성 가스 등의 분해 반응을 유도합니다.
반응·열관리
가스 혼합과 체류시간을 확보하고, 반응기 열교환 구조를 활용합니다. 가스별 특성에 따라 냉각·급랭 조건을 구성합니다.
습식·분진 후처리
분해 이후 발생하는 산성 성분과 입자상 부산물을 물·약액·집진 계통으로 처리합니다. 폐수와 슬러지 관리도 함께 설계합니다.
계측·운전 기록
유입·유출 가스와 전력, 압력, 냉각 및 알람 정보를 확인합니다. 처리성능과 에너지 사용량을 운전 이력으로 관리합니다.
공정 이해를 위한 구성 예시입니다. 반응 보조 유체, 급랭 및 후단 처리의 조합은 대상 가스에 따라 달라집니다.
02 / REACTOR ENGINEERING
페트라 MW 시스템의 핵심 설계.
무전극 에너지 전달
마이크로웨이브 발생기, 도파관, 플라즈마 생성부와 반응기를 연결합니다. 방전 전극의 마모·교체 요인을 줄이는 구조를 지향하며, 석영관·반응기·냉각 계통은 별도로 유지관리합니다.
예열과 회전 유동
반응기 외곽의 열을 유입 가스 예열에 활용하고, 접선 방향 유입으로 회전 유동을 형성하는 설계입니다. 가스 혼합과 체류시간을 확보해 반응 영역과의 접촉을 높이는 방향입니다.
스팀 기반 반응 보조
스팀을 플라즈마 반응 영역에 공급해 OH 라디칼 등의 반응성 종을 활용하는 THC 처리 구상입니다. 가스 종류와 부하에 맞춰 스팀 투입량, 출력, 반응 조건을 조정합니다.
열회수와 필요 시 가동
열회수와 전기 출력 제어를 연계해 에너지 이용을 개선합니다. 예비·비상 처리설비에서는 기동 특성을 활용해 대기 운전 부담을 낮추는 적용 방안을 검토합니다.
03 / GAS-SPECIFIC CONFIGURATION
가스마다 다른 조건, 공정에 맞춘 구성.
| 적용 검토 대상 | 처리 접근 | 주요 설계·평가 항목 |
|---|---|---|
| THC·VOCs 유기성 배기가스 | MW 플라즈마와 스팀 반응을 연계하고 열회수·후단 처리 구성 검토 | 유입 농도 변화, 유량, 가스 혼합, 체류시간, 잔류 유기물 및 부산물 |
| NF₃·SF₆ 등 불소계 공정가스 | 가스별 출력·반응 조건을 설정하고 분해 후 산성 성분 포집 계통 연계 | 가스별 분해효율, 부식성 부산물, 후단 처리 부하와 재질 적합성 |
| CF₄ 등 분해가 어려운 가스 | 반응 조건, 보조 유체, 체류시간 및 급랭·후처리를 통합 검토 | 실제 처리 유량에서의 성능, 처리량당 전력, 반응 안정성 |
| 분진·산성 부산물 후단 처리 영역 | 습식 세정·포집·집진 단계를 가스처리 계통에 맞게 조합 | 배출 농도, 압력손실, 세정수 상태, 폐수·슬러지 처리 및 정비성 |
THC 처리와 불소계 가스 처리는 동일한 운전 조건을 적용하지 않습니다. 대상 가스별로 장비 구성과 처리 조건을 정합니다.
04 / TECHNOLOGY COMPARISON
처리 방식의 차이를 이해하면,
도입 기준이 명확해집니다.
| 처리 방식 | 기본 구성 | 운영 시 살펴볼 항목 |
|---|---|---|
| Burn-Wet | 연료 연소에 의한 고온 처리와 습식 후처리 | 연료·공기 공급, 예열 및 대기 운전, 직접 연소 배출, 후단 부하 |
| DC 플라즈마 | 직류 아크를 이용한 플라즈마 생성 | 전극 마모·교체, 아크 안정성, 냉각 및 유지보수 |
| RF 플라즈마 | 고주파 전자기장을 이용한 플라즈마 생성 | 정합 계통, 코일·유전체 구조, 압력 변화 및 증착 관리 |
| MW 플라즈마 | 마이크로웨이브를 이용한 무전극 플라즈마 생성 | 반사전력, 석영관·반응기 내구성, 가스별 조건 조정, 장기운전 |
방식의 선택은 처리 가스·유량·설치 조건에 따라 달라집니다. 분해효율과 함께 에너지, 부산물, 가동률, 정비 비용을 비교합니다.
05 / SMART OPERATION & SERVICE
설비의 성능을 운영의 성과로.
부하 기반 출력 제어
가스 유량·농도와 공정 운전 정보를 바탕으로 승인된 운전 범위에서 출력 조정을 검토합니다. 일정 출력을 유지하는 방식과 비교해 부하 변화에 맞는 에너지 관리가 목표입니다.
안전 인터록과 이력 관리
냉각수, 배기 압력, 전원, 가스 공급과 반사전력 등 핵심 상태를 감시하는 구성을 검토합니다. 이상 발생 시 경보·안전 정지 절차와 운전 이벤트 기록을 연계합니다.
점검·부품·모듈 서비스
석영관, 반응기, 냉각 계통, 세정부와 배관의 상태를 점검합니다. 예비품 계획과 교체 절차를 정리하고, 현장 접근성과 정비 작업을 고려해 구성합니다.
총운영비와 탄소 관리
전력·연료·용수·소모품·폐수·정비 및 정지시간을 함께 평가합니다. 전기화의 탄소 효과는 연료 절감뿐 아니라 전력 사용과 전력 배출계수를 포함해 산정합니다.
06 / PROJECT DELIVERY
현장 조건에서 출발하는 도입 절차.
공정 진단 → 적용 설계
대상 가스, 정상·최대 유량, 농도 변화, 배기 압력과 설치 공간을 확인합니다. 전력·냉각수·세정수 등 유틸리티 조건을 토대로 반응기와 후단 구성, 계측 항목을 정합니다.
설치·운전 평가 → 단계적 확대
설치와 인터록 확인 후 가스별 처리성능, 전력 사용, 부산물과 운전 안정성을 평가합니다. 점검·교육·예비품 체계를 정리하고 평가 결과에 따라 적용 범위를 넓힙니다.
우리 공정에는 어떤 구성이 맞을까요?
처리 대상 가스, 유량·농도 범위, 기존 설비 방식과 도입 목적을 알려주시면 적용 검토에 필요한 문의 초안을 정리할 수 있습니다.
기술 소개 기준: 페트라기후기술 MW 시스템 사업계획서 및 스크러버 기술비교 자료. 시스템 구성과 사업 적용 방향을 설명한 내용이며, 개별 설비의 공급 사양은 프로젝트별로 정합니다.
EXPLORE THE PROCESS
폐타이어가 자원이 되는 과정.
각 단계를 선택하면 역할과 연결 기술을 확인할 수 있습니다.
사업계획서와 HMPG 공정 해설의 흐름을 홈페이지용으로 재구성한 개념 공정입니다.
RECOVERED VALUE
하나의 폐자원,
다양한 산업의 가능성.
CORE TECHNOLOGY
공정의 효율을 높이는 연결 기술.
마이크로웨이브 에너지
전기에너지를 이용한 가열·플라즈마 생성 기술을 적용합니다. 자원재생의 열분해와 산업 가스처리의 반응 열원으로 활용하는 방향입니다.
개질과 후단 정제
원료와 가스 조성에 맞춰 개질, 집진, 정제 단계를 조합합니다. 수소 회수에는 PSA 정제를, 배기가스 처리에는 대상 가스에 적합한 후단 구성을 검토합니다.
열회수와 스마트 제어
열회수 구조와 운전 부하 기반 제어를 연계해 에너지 사용을 관리합니다. 전력·가스·알람 데이터를 바탕으로 운전 조건을 조정하는 설계를 지향합니다.
FROM PILOT TO SCALE
검증을 쌓고, 모듈로 확장합니다.
원료와 공정 검증
원료 특성, 물질수지, 전력 사용량, 가스·제품 분석을 확인하고 운전 기준을 정립합니다.
연속운전과 수요 연계
연속운전 안정성과 정비성을 평가하고, 수소 및 탄소소재 수요처와 샘플 평가를 진행하는 단계입니다.
모듈 병렬화와 상업화
검증된 공정을 바탕으로 모듈 증설과 현장 적용을 추진하고, 운영·유지보수 체계를 함께 구축합니다.
QUESTIONS & ANSWERS
페트라의 사업, 더 알아보기.
폐타이어 자원재생과 일반 소각의 차이는 무엇인가요?
자원재생은 폐타이어의 탄소와 수소를 제품으로 회수하는 데 초점을 둡니다. 열분해, 개질, 정제 공정을 거쳐 수소와 탄소소재의 활용 가치를 검토하며, 에너지 사용과 배출 관리를 함께 설계합니다.
그래핀과 인조흑연도 바로 판매 가능한 제품인가요?
수소·회수 카본블랙을 우선 검증하는 사업 방향이며, 그래핀과 인조흑연은 추가 정제·가공, 품질 분석 및 고객 인증을 거쳐 확장하는 영역입니다. 산출물의 등급과 적용 분야는 원료 및 공정 조건에 따라 달라집니다.
어떤 기업·기관과 협력할 수 있나요?
폐타이어 원료 공급사, 수소 및 탄소소재 수요기업, 파일럿 부지 운영사, 공인시험기관, 산업 배기가스 처리 수요기업, 전략적 투자 파트너와의 협력을 지향합니다.
스크러버 사업의 적용 범위는 어떻게 되나요?
THC·VOCs 배기가스 처리와 반도체 공정가스 분야를 대상으로 적용을 검토합니다. 처리 대상 가스의 조성·유량·농도와 현장 유틸리티에 맞춰 반응기와 후단 설비를 구성합니다.
LET’S BUILD WHAT’S NEXT
다음 순환을,
함께 시작할 파트너를 찾습니다.
원료 공급부터 제품 수요, 설비 도입과 전략 협력까지.
협력 목적과 현장 조건을 정리해 주세요.
아래에서 문의 초안을 작성하고 파일로 저장할 수 있습니다.
담당자 연락처 연결 전에는 외부로 전송되지 않습니다.